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類別:超聲波干式除塵設(shè)備USC
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除塵頭里有一個(gè)超聲波發(fā)生腔和倆個(gè)真空吸附腔。塵粒在吸附層作用下粘附于玻璃基板表面,要想去除塵粒,必須克服塵粒的粘附力。
通過鼓風(fēng)機(jī),給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體,氣體通過超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波,利用超聲波傳播的能量及振動(dòng),使塵粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滾動(dòng)及滑動(dòng)三種運(yùn)動(dòng)方式(單一或混合)從玻璃基板表面脫離,使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。
除塵頭的真空腔是用來吸附塵粒。當(dāng)塵粒從玻璃基板表面分離出來后,利用超聲波的反射將的塵粒帶動(dòng)起來,運(yùn)動(dòng)的塵粒瞬間被清洗頭的真空吸附腔吸走,從而達(dá)到清洗玻璃表面塵粒的效果。
主要技術(shù)參數(shù)
有效清洗長度
0-700mm
工作風(fēng)壓
8-16KPa
除塵頭到工件的距離
5mm以內(nèi),1.5mm最佳
除塵頭到機(jī)箱的管長度
10米以內(nèi)
清潔效率
3um塵粒 97%的清除率,6um塵粒 98%清除率
吐出風(fēng)溫度
小于45℃
噪音
小于80分貝
工作電壓
3 相 380V 50/60Hz(可選配三相220V)
設(shè)備功能
高低頻瞬時(shí)啟動(dòng),溫度監(jiān)控反饋,風(fēng)壓監(jiān)控反饋,頻率監(jiān)控,PLC控制,參數(shù)觸摸屏設(shè)定,可實(shí)現(xiàn)MES連接
測試條件
與
驗(yàn)收方法
測試條件:在100級潔凈室內(nèi)完成,工作高度1.5mm,工作氣壓14KPa,清洗速度 80mm/s,3um間隔粉。
驗(yàn)收方法:在潔凈的清洗玻璃上噴撒間隔粉,目視區(qū)域120-150粒,200倍顯微鏡檢測,清除率達(dá)97%以上。
一、型號規(guī)格
工作間距:1.5mm.(出風(fēng)全部被吸回?zé)o泄漏的條件下,正壓為在除塵頭入口端口測量的內(nèi)部壓力)
型號
有效
寬幅
對應(yīng)機(jī)臺使用功率
P (出風(fēng)口)
V (吸風(fēng)口)
壓力(KPa)
流量(L/min)
USC-PT-100
100mm
1.5KW
8
800
-2
900
12
1000
-3
1100
16
2000
2500
USC-PT-200
200mm
1500
3000
USC-PT-300
300mm
3.0KW
3500
4000
USC-PT-400
400mm
5.5KW
3200
3600
4300
USC-PT-700
700mm
5600
6000
6300
6500
6800
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